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PVD500高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)
PVD400高真空磁控濺射薄膜沉積系統(tǒng)
Etchlab 200開蓋等離子蝕刻系統(tǒng)
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SI PEALDPEALD 系統(tǒng)
SI 500 DICPECVD 系統(tǒng)
SENTECH SI 500 ICP-RIE等離子蝕刻系統(tǒng)
SI 500 C等離子體蝕刻系統(tǒng)
PlasmaPro 100 Nano等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積
Ionfab 300 IBD離子束沉積
PlasmaPro 100 ALE原子層刻蝕
織雀™PL-3D Premium高精密微3D光刻機(jī)